OWIS 位移平臺等測量設(shè)備

工作原理*：施加電流，產(chǎn)生形變

驅(qū)動特點：驅(qū)動由壓電陶瓷的位移產(chǎn)生，可識別的最小位移遠(yuǎn)小于一般的驅(qū)動方式

直流電機(jī)驅(qū)動位移臺：給電機(jī)施加電流，電機(jī)轉(zhuǎn)動帶動絲杠使位移臺運動

壓電陶瓷驅(qū)動位移臺：給壓電陶瓷施加電流，壓電陶瓷受電產(chǎn)生形變，帶動位移臺運動

最小位移：位移臺可識別的最小位移量，位移臺由電機(jī)驅(qū)動，例如位移臺最小位移1mm，對應(yīng)電機(jī)直流電流2mA，則電機(jī)直流電流大于2mA時位移臺才能感知到電流并且運動，而壓電陶瓷驅(qū)動由于是通過形變產(chǎn)生，所以位移臺的最小位移趨近于無窮小，電流也趨近于無窮小。

比如“直流電機(jī)驅(qū)動位移臺"，電機(jī)轉(zhuǎn)動最少1圈，位移臺才能夠識別，運動1mm；輸入5mA電流只夠驅(qū)動直流電機(jī)轉(zhuǎn)動半圈，這個時候位移臺是無法識別的，無法運動?！岸鴫弘娢灰婆_可以理解為，只要輸入電流哪怕再小只有1mA，壓電陶瓷也會產(chǎn)生形變（拉長），形變就能帶動位移臺運動，所以壓電位移臺的最小位移趨近于無限小"

電機(jī)：將電脈沖信號轉(zhuǎn)換為機(jī)械能的部件（直流電機(jī)，步進(jìn)電機(jī)，壓電電機(jī)）

傳動裝置：將電機(jī)或人手輸出的能量轉(zhuǎn)換成位移臺實際行程（滾珠絲杠，交叉滾柱導(dǎo)軌）

光柵尺傳感器：利用光柵的光學(xué)原理工作的測量反饋裝置，可用作直線位移或者角位移的檢測，光柵尺檢測工作臺的位置坐標(biāo)后反饋給電機(jī)從而進(jìn)行反饋補(bǔ)償

控制箱：由控制板卡，延時開關(guān)，濾波器，電源等組成

OWIS 型號示例:

KTA 40B-D15

KSHM 40-RE-MDS

NG-E02

KSHM 40-LI-MDS

OWIS 25

FGS 7-10

OWIS 位移平臺等測量設(shè)備